X-RAY在线膜厚测量仪
X-RAY在线膜厚测量仪主要应用于对各薄膜厚度的检测,其主要原理是通过XRAY发生器发出X射线,投射到被侧基材,由基材及探测器吸收后,系统分析射线的强度变化及被侧基材的厚度相关特性,计算出被侧基材的厚度。具有高度集成化、?榛⒊て谖榷ㄔ诵械忍匦。
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